1:前処理-逆浸透-浄化タンク-イオン交換体-紫外線ランプ-純粋な水ポンプ-給水所
2:前処理-第一次逆浸透-二次逆浸透（正電荷の逆浸透の膜） -浄化タンク-純粋な水ポンプ-紫外線ランプ-給水所
3:前処理-逆浸透-中間タンク-中間ポンプ- EDIの単位-浄化タンク-純粋な水ポンプ-紫外線ランプ-給水所
4:pretreatment→ultraviolet殺菌のdevice→firstレベルのRO device→secondary ROのdevice→intermediate水tank→EDIのdevice→deoxidation device→nitrogenによって密封される純粋な水tank→except TOCの紫外線device→polishing混合されたbed→ultrafiltrationのdevice→waterポイント
水質は合いますアメリカASTMの標準、電子部門（18MΩ*cm、15MΩ*cm、2MΩ*cmおよび0.5MΩ*cm 4つのレベル）の超純粋な水質の標準に
Ultrapure給水系統の逆浸透（膜分離）方法ultrapure水製造技術
逆浸透は反対の方向の十分な圧力の逆浸透の膜（半透膜）を通って浸透の方向へ解決の溶媒の分離（通常水と言われる）です。分離は浸透圧より大きい逆浸透方法を使用して遂行することができます。、解決の浄化そして集中。逆浸透の膜のための第一次分離ターゲットは解決のイオンの範囲です。